RTP
ESC Chucks
AST bietet hochwertige Komponenten und Refurbishment für RTP-Anlagen in der Halbleiterindustrie. Unser Leistungsspektrum umfasst die Aufarbeitung von Reflektorplatten, Goldreflektoren und Lamphead-Komponenten sowie Polieren, Beschichten und die präzise Prüfung von Oberflächen und Schichtdicken. Damit bieten wir wirtschaftliche Lösungen zur Verlängerung der Komponentenlebensdauer und zur Sicherstellung hoher Qualitätsstandard
Lithographie
EPM
AST bietet neue und wiederaufbereitete Komponenten für Lithographieanlagen in der Halbleiterindustrie. Unser Leistungsspektrum umfasst Photochucks, Fotolackpumpen und optische Bauteile sowie deren Refurbishment, technische Prüfung und Qualitätssicherung. Damit schaffen wir wirtschaftliche Alternativen zu Neuteilen und unterstützen eine zuverlässige Anlagenperformance sowie eine längere Lebensdauer der Komponenten.
Waferhandling
AST bietet Endeffektoren als Second-Source-Lösungen sowie kundenspezifische Sonderanfertigungen für die Halbleiterindustrie. Unser Leistungsspektrum umfasst präzisionsgefertigte Komponenten aus Aluminiumoxid und Carbon, abgestimmt auf spezifische Prozessanforderungen und individuelle Anlagenkonzepte. Wir unterstützen unsere Kunden mit wirtschaftlichen Alternativen, hoher Fertigungsqualität und maßgeschneiderten Lösungen.
Repairs Vakuum
AST bietet professionelle Reparaturen und Refurbishment von Vakuumventilen für die Halbleiterindustrie. Unser Leistungsspektrum umfasst die Reinigung, den Austausch von Dichtungen und Verschleißteilen, die fachgerechte Montage sowie Funktions-, Dichtheits- und Helium-Leckprüfungen. Damit bieten wir wirtschaftliche Alternativen zu Neuteilen und verlängern die Lebensdauer bestehender Komponenten.
EPI
AST bietet professionelles Refurbishment von EPI-Goldreflektoren für die Halbleiterindustrie. Der Prozess umfasst das Entgolden und Entnickeln, die Aufarbeitung und Präzisionspolitur der Oberflächen sowie die anschließende Neuvernickelung und Vergoldung. Durch die fachgerechte Wiederaufbereitung und Qualitätsprüfung werden hochwertige, wirtschaftliche Alternativen zu Neuteilen geschaffen.
Wafer Silizium Glas
AST bietet Glaswafer, Siliziumwafer und Fotomasken für die Halbleiterindustrie. Unser Portfolio umfasst verschiedene Wafergrößen und Materialien sowie Masken für lithographische Anwendungen. Wir liefern hochwertige Produkte für Entwicklung, Forschung und industrielle Fertigungsprozesse, abgestimmt auf individuelle Kundenanforderungen.
Chiller /Heatexchanger
AST bietet Reparaturen, Wartung und technische Optimierungen von Chillersystemen aller Hersteller für die Halbleiterindustrie. Unser Leistungsspektrum umfasst die Reduzierung von Galdenverlusten durch spezielle Dichtungslösungen, die Optimierung von Kühlkreisläufen sowie die Prüfung und Instandsetzung von Komponenten. Darüber hinaus unterstützen wir die Kommunikation zwischen Chiller und Anlagensteuerung, um einen zuverlässigen Betrieb und eine verbesserte Anlagenverfügbarkeit sicherzustellen.
Engineering
AST bietet Engineering, individuelle Sonderlösungen und technische Optimierungen für die Halbleiterindustrie. Unser Leistungsspektrum umfasst die Entwicklung und Optimierung von Bauteilen, spezielle Beschichtungen, die Entwicklung von ESC-Chucks, kundenspezifische optische Filter sowie Konstruktion und CAD-Design. Von der technischen Konzeption bis zur Umsetzung entwickeln wir maßgeschneiderte Lösungen für anspruchsvolle Prozessanforderungen.
Erstklassige Ersatzteile für Halbleitertechnik
Hochwertige Refurbishment- und Neuteile für Ihre Semiconanlagen